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文:MenClub 摯樂  圖:互聯網
POSTED ON 09 Nov 2020
【晶片大曙光】荷蘭ASML係中國推銷 7納米製程 DUV光刻機 

打邊爐靠個爐,做晶片就靠光刻機,美國係特朗普圍堵政策下將最先進EUV 光刻機技術封鎖無法出口中國,晶片革命成為中國下半年重大命題。上星期中國國際進口博覽會,荷蘭半導體巨頭 ASML現場向中國展銷成部最先進浸潤式 DUV光刻機,據稱一來是其專利技術唔需要美國批文,二來最高可以用於7納米晶片制程,雖然未係最先進的EUV光刻機,但ASML表示對全球一視同仁,出口中國係常持開放態度,甚至最強EUV光刻機都只需要等美國批准就可以有交易,成部DUV光刻機已經搬左去中國博覽會現場,中國集成電路行業前景肯定一片光明,看來一星期光景世界已經完全唔同哂!


日本 Nikon、Canon 和荷蘭 ASML係世界三大光刻機製造商,ASML 光刻機享譽全球,台積電都係用佢的機器才能讓晶片有長足的進步,以最強被禁售中國的EUV光刻機計,2019年 ASML全年出貨量為26部,其中有近20部EUV光刻機交貨晶片一哥台積電。中國現場展覽嘅係一部最先進浸潤式 DUV光刻機,同EUV光刻機唔同,DUV完全由ASML獨家研發,唔需要美國批准出口,暫時技術浸潤式 DUV光刻機未係最先進最多只能製造出7納米門檻,而且成本極高,成品良率也唔穩定, DUV 的深紫外光波長近 193 奈米,技術上透過液體浸潤多重曝光後,可以縮小同EUV線距,但以成本同成效計都及唔上EUV光刻機。然言對中國而言,做晶片不計成本,高成本唔係最大的問題,最大問題只係造唔造到出來!


其實今年ASML向中國發貨的光刻機,已經佔公司全球出售總機數兩成,當然並非最先進的機器。過去30年ASML已為中國提供了700幾部裝機,涵蓋了ASML公司絕大部分類型產品。至於話題重點能夠生產iPhone12所搭載的5納米晶片的EUV(極紫外光)光刻機,ASML就明確指出必須跟從法規等待荷蘭政府批出向中國出口的許可證。ASML強調,係遵守法律法規的前提下對中國同樣保持開放態度。「我們對全球客戶都一視同仁,只要是我們能夠提供的技術和設備,我們都會全力支持。」


中國的晶片發展有慢慢長路,但買最先進的光刻機,甚至買起成間ASML公司對中國而言都係輕而易舉嘅事,等待的就只是一個批文同一個准照,2021年好可能一切順利的話,中國自建晶片一跳就研發上7納米製程,進步之大可能係「拜登點票式」。 



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